Thickness of silicon nitride on gallium arsenide  
   3.810   -0.210    1.000   0.000
70<
 632.800
50<
100<
   1.900    0.000   80.000
   1.000    0.000    0.000
   1.000    0.000    0.000
   0.050    0.050    0.020
   0.008    0.002
0 0 0 0
  100  21   9   1
  1  1
Test.dat
Test.pro
511